自主研发，助力半导体国产化替代，这家企业研发中心正式启用！
近年来，中国半导体行业发展迅速，但关键制程设备长期由外国企业垄断，导致半导体制造面临“卡脖子”问题。随着国内泛半导体行业的迅速发展，行业内的设备国产化程度也在逐渐提高。废气治理系统和设备作为泛半导体生产工艺不可分割的组成部分，存在大量的国产化需求。近日，位于嘉定工业区汇发路上集研发、测试、实验室等功能为一体的盛剑大厦于近日正式启用。上海盛剑环境系统科技股份有限公司（以下简称“盛剑环境”）专注于泛半导体工艺废气治理领域，致力于为集成电路、半导体显示、为新能源客户定制化提供绿色产生综合解决方案。
盛剑环境品牌经理林峰说：“研发中心占地面积4万多平方米，随着研发中心的启用，企业将进一步提升研发能力。”企业研发团队专注于泛半导体产业新材料、新工艺、新设备的研究和开发，并在泛半导体工艺废气治理领域已经取得了多项国内领先技术，积极探索治理设备核心部件的国产化。目前，团队已经成功研制出适用于泛半导体、新能源领域的多型号L/S设备和VOC处理设备，填补了多项国内空白。
比如，企业自主研发、设计、制造废气设备，实现了泛半导体制程附属设备L/S、LOC-VOC等设备的自主研发、设计、生产和销售，并实现了沸石浓缩转轮等用于废气治理系统的关键设备的自产与研发设计。
在材料方面，企业积极布局湿电子化学品材料业务，与日本长濑达成技术合作，联合开发电子材料，并在上海化工区设立电子材料研发实验室及生产线。在生产建设保障方面，加快产品新工艺开发、生产线升级改造，提升产线柔性和制造能力。加快打造位于嘉定工业区的上海盛剑半导体作为先进泛半导体制程附属装备平台，开辟新生产基地。
半导体集成电路产业作为嘉定工业区重要的战略产业发展板块，已吸引众多半导体产业链企业成功入驻。政策上，嘉定工业区为企业提供了多元化扶植政策，范围涵盖企业投融资、降低成本、研发创新、规模发展、人才集聚、合作交流等多方面；服务上，不断强化对企业的服务能力，营造一流的产业环境。
盛剑环境董事长、总经理张伟明表示：“企业聚焦泛半导体产业多年，积累了丰富的行业经验和优秀的人才队伍。对外和国内半导体行业头部企业保持深度技术交流、产品验证和业务合作；对内不断加强核心技术团队人才储备，深入了解学习工艺制程环节的设备工艺。”
