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5月18日下午，嘉定院地合作又结硕果，中科院光机所、上海集成电路研发中心、上海激光技术研究所与上海嘉定工业区四家单位注资成立公司，瞄准半导体集成电路的先进激光光源自主可控，打破垄断的目标发起冲击，这也是嘉定助力上海服务国家战略、建设全球科创中心、打响“上海制造”品牌的关键举措。

上海市科技党委书记刘岩、嘉定区委书记、区长陆方舟共同为上海神光激光技术制造装备有限公司、上海先进激光产业创新技术研发与转化功能性平台成立揭牌。中国科学院上海分院院长王建宇、区委常委、嘉定区副区长沈华棣、嘉定工业区领导徐嵘、雷文龙等共同见证。

上海市科技党委书记刘岩表示，当前国际形势严峻，证明苦练内功，加快产学研合作，实现关键技术自主可控的路径是正确的。他希望这个平台，能够成为创新技术集成应用，营造良好创新生态的平台；能够成为招才引智，打造人才蓄水池的平台；能够成为探索科技创新模式，统筹资源，释放活力，创新体制机制的平台。

嘉定区委书记、区长陆方舟表示，上海科创中心建设进入了第二轮三年行动计划，嘉定区利用科技城溢出效应，深化院地合作模式，通过资源倾斜、政策支撑、服务聚焦， 已经推动了八英寸线、质子治疗装置等41个重点项目落地，与科研院所相关的落地企业有400多家，年产值达百亿元。当前 ，嘉定正在打造国家级智能传感器产业园，希望先进激光创新技术研发与转化平台能够探索更多院地合作的新模式，形成相互支持、支撑、融合、促进的良好局面。

半导体集成电路是关系国家安全和国民经济命脉的战略性、基础性和先导性产业。但当前，无轮是在集成电路的前道工序光刻、退火所需EUV、准分子激光，还是后道工序切割、封装所需的特种脉冲激光，基本都被美国、日本、荷兰等国家垄断，中国即使在低端领域有少量份额，但却无法量产，进入全球产业链，而且，对先进光源全部依赖进口，如美国工业准分子激光器，是全球准分子激光器唯一供应商。大家熟知的ASML光刻机占比高端市场90%。随着中美贸易摩擦加剧，欧美国家限制关键部件出口，我国集成电路产业发展受制于人，加快先进激光技术研发与成果转化的职责使命重大。

先进激光研发技术具有难度高、风险大、投入高、周期长、跨度大的特点，公益性、基础性特征明显。我国虽有一定的技术积累，但由于力量分散、供需脱节，没有形成完整的产业链，而欧美发达国家高度重视激光技术在半导体集成电路领域的应用，形成了长期的产业布局并构建了完整的产业链和技术创新链。

中科院光机所是激光技术研发的国家队，技术积累深厚，此次四家单位注资成立公司，以院地合作的模式，通过政府先导性投入、地方政府空间承载，发挥资源整合、优势互补的作用，合力推动激光技术研发与成果转化。一方面，加快关键核心技术的突破，构建完善的创新产业链，输出产业技术，另一方面，培育龙头企业，形成上海激光产业技术创新谷，孵化企业20家以上，培育打造激光领域的独角兽企业， 10到15年内产值规模争取达到100个亿，辐射长三角，带动相关产业规模1000亿以上。再一方面，打造区域性的集成电路产业人才高地，集聚全球高端人才，初期研发团队20人，两年内形成100人左右的团队规模，五年内达到200人。

未来，平台将逐步攻克超短脉冲激光、准分子激光和EUV光刻光源。运用于半导体集成电路领域激光装备技术研发、高端智能制造装备技术研发、高端激光医疗装备技术研发、智能探测激光装备技术研发等领域。

嘉定工业区领导冯根、齐鹏、黄欢出席揭牌仪式。